ALICAT 氣體質量流量計 20系列采用內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。

技術指標

介質要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質種類    內置了98種氣體，請參考背面

           一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇

量    程    從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM

測量范圍    0.01～100%滿量程

最大顯示流量    128 % 滿量程

顯 示 屏    帶背光燈按鍵，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度

精    度    ± （0.8 % 讀數 + 0.2 % 滿量程）精度升級部分見左下角

           ± （0.4 % 讀數 + 0.2 % 滿量程）（可選）

累計流量精度    流量精度之外增加± 0.5 %讀數額外誤差

重 復 性    ± （0.2 %讀數+0.02 %滿量程）

質量流量溫度零點和滿量程漂移    0.02%滿量程/ ℃（從25℃開始）

質量流量壓力零點和滿量程漂移    ±（0.08 % 讀數 + 0.02 % 滿量程）/ Atm（從校準壓力開始）

響應時間    優于10 ms （與流量相關）  

預熱時間    < 1 s

默認標況（STP）    25 ℃&1Atm（其它標況可調）

工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項）

溫度精度    ± 0.75 ℃

工作濕度    0 ～ 95%，無冷凝

最大工作壓力    1 MPa 表壓（可選2 MPaG高壓系列）

操作壓力    如果不做真空特殊標定，建議在絕壓80 KPa以上使用；

其他真空壓力建議做特殊標定

壓力精度    ± 0.5 % 讀數（讀數＞1 Atm），或 ± 0.07 PSIA（＜1Atm）

最大進出口壓差    0.5MPa

滿量程壓損    參考詳細壓損表

數據刷新頻率    數字信號40 Hz@ 19200波特率；

               模擬信號：1000 Hz

屏幕刷新頻率    10 Hz

數字輸入/輸出信號    RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、

                    DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

模擬輸入/輸出信號    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出    質量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號精度    在基礎誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差

供電電壓    9-24 VDC （如選4 - 20 mA或0-10VDC輸出，須為12 - 24VDC）

供電電流    40mA，額外加 40 mA（ 4 - 20 mA或0-10VDC輸出）

電氣接口    DB9M，可選DB15、6針工業接頭、8針Mini-DIN等

泄漏率（外漏）    選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材    質   302、303、304、316L不銹鋼、FKM、硅橡膠、環氧樹脂、聚酰胺、玻璃、硅、金、陶瓷  

過程連接    詳情參考壓損表

安裝方式    對位置無要求

防護等級    IP40

認    證    ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH、CSA （可選）