ALICAT 氣體質(zhì)量流量計 20系列采用內(nèi)部補償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。

技術(shù)指標(biāo)

介質(zhì)要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類    內(nèi)置了98種氣體，請參考背面

           一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇

量    程    從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM

測量范圍    0.01～100%滿量程

最大顯示流量    128 % 滿量程

顯 示 屏    帶背光燈按鍵，標(biāo)準(zhǔn)為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精    度    ± （0.8 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程）精度升級部分見左下角

           ± （0.4 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程）（可選）

累計流量精度    流量精度之外增加± 0.5 %讀數(shù)額外誤差

重 復(fù) 性    ± （0.2 %讀數(shù)+0.02 %滿量程）

質(zhì)量流量溫度零點和滿量程漂移    0.02%滿量程/ ℃（從25℃開始）

質(zhì)量流量壓力零點和滿量程漂移    ±（0.08 % 讀數(shù) + 0.02 % 滿量程）/ Atm（從校準(zhǔn)壓力開始）

響應(yīng)時間    優(yōu)于10 ms （與流量相關(guān)）  

預(yù)熱時間    < 1 s

默認(rèn)標(biāo)況（STP）    25 ℃&1Atm（其它標(biāo)況可調(diào)）

工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項）

溫度精度    ± 0.75 ℃

工作濕度    0 ～ 95%，無冷凝

最大工作壓力    1 MPa 表壓（可選2 MPaG高壓系列）

操作壓力    如果不做真空特殊標(biāo)定，建議在絕壓80 KPa以上使用；

其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定

壓力精度    ± 0.5 % 讀數(shù)（讀數(shù)＞1 Atm），或 ± 0.07 PSIA（＜1Atm）

最大進(jìn)出口壓差    0.5MPa

滿量程壓損    參考詳細(xì)壓損表

數(shù)據(jù)刷新頻率    數(shù)字信號40 Hz@ 19200波特率；

               模擬信號：1000 Hz

屏幕刷新頻率    10 Hz

數(shù)字輸入/輸出信號    RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、

                    DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

模擬輸入/輸出信號    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出    質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號精度    在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差

供電電壓    9-24 VDC （如選4 - 20 mA或0-10VDC輸出，須為12 - 24VDC）

供電電流    40mA，額外加 40 mA（ 4 - 20 mA或0-10VDC輸出）

電氣接口    DB9M，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN等

泄漏率（外漏）    選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材    質(zhì)   302、303、304、316L不銹鋼、FKM、硅橡膠、環(huán)氧樹脂、聚酰胺、玻璃、硅、金、陶瓷  

過程連接    詳情參考壓損表

安裝方式    對位置無要求

防護(hù)等級    IP40

認(rèn)    證    ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH、CSA （可選）