ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器 21系列：采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。

技術(shù)指標(biāo)

介質(zhì)要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類    內(nèi)置了98種氣體，請參考?xì)怏w兼容表

            一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇

量    程       從0-0.5 SCCM 到 0-6000 SLPM

量程可控比（穩(wěn)態(tài)）    0.01～100%滿量程

最大顯示流量    128 %滿量程

最大可控流量    102.4 %滿量程

顯 示 屏    帶背光燈按鍵，標(biāo)準(zhǔn)為LCD黑白顯示屏（帶背光），可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精    度    ±（0.8 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）精度升級部分見左下角

            ±（0.4 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）（可選）

累計(jì)流量精度    流量精度之外增加±0.5%讀數(shù)的額外誤差

重 復(fù) 性    ±（0.2% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程）

質(zhì)量流量溫度零點(diǎn)和滿量程漂移    0.02%滿量程/ ℃（從25℃開始）

質(zhì)量流量壓力零點(diǎn)和滿量程漂移    ±（0.08 % 讀數(shù) + 0.02 % 滿量程）/ Atm（從校準(zhǔn)壓力開始）

控制響應(yīng)時(shí)間    30ms（與流量相關(guān)，用戶可調(diào)）

顯示響應(yīng)時(shí)間    ＜10ms（與流量相關(guān)）

預(yù)熱時(shí)間    ＜1s

默認(rèn)標(biāo)況（STP）    25 ℃&1Atm（其它標(biāo)況可調(diào)）

工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項(xiàng)）

溫度精度    ± 0.75℃

工作濕度    0 ～ 95 %，無冷凝

最大工作壓力    1 MPa表壓

操作壓力    如果不做真空特殊標(biāo)定，建議在絕壓80KPa以上使用；其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定

壓力精度    ±0.5%讀數(shù)（＞1Atm），或±0.07PSIA（＜1Atm）

滿量程壓損    參考詳細(xì)壓損表

數(shù)據(jù)刷新頻率    數(shù)字信號40Hz@19200波特率；

                模擬信號：1000Hz

屏幕刷新頻率    10Hz

數(shù)字輸入/輸出信號    RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

模擬輸入/輸出信號    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出    質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號精度    在基礎(chǔ)誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差

供電電壓     12-30 VDC （如選4-20 mA輸出，須為15-30 VDC ）

供電電流    250 mA，1 A，2 A（詳情咨詢）

            額外加 40 mA（ 4 - 20 mA）

電氣接口    DB9M，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN等

泄漏率（外漏）    選擇HLC選項(xiàng)，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材    質(zhì)   302、303、304、316L、430FR不銹鋼、FKM、硅橡膠、環(huán)氧樹脂、聚酰胺、玻璃、硅、銅、金、陶瓷

             R閥門430FR不銹鋼替換為410不銹鋼

過程連接    標(biāo)準(zhǔn)為NPT內(nèi)螺紋，詳情參考壓損表

安裝位置    小閥門無要求，R閥門需閥體垂直向上安裝

防護(hù)等級    IP40（IP66可選）

認(rèn)    證    ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）