ALICAT 便攜式高壓氣體質量流量計 62Q系列可縮短檢定或驗證高壓（160-320 psia）條件下運行流量所需時間，還能夠瞬間提供多種氣體的實時讀數，從而縮短停機時間和過程中斷時間。

技術指標

介質要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質種類    內置了98種氣體，請參考氣體兼容表

           一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇

量    程    從0 - 10 SCCM 到 0 - 3000 SLPM

測量范圍    0.5～100%滿量程

最大顯示流量    128%滿量程

顯 示 屏    帶按鍵背光開關，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度

精    度    ± 2 % 滿量程 精度升級見上段

累計流量精度  流量精度之外增加±0.5%讀數額外誤差

重復性  ± 0.2%滿量程

質量流量零點漂移     ± 0.01%滿量程/ ℃（從25℃開始）

                    ± 0.01%滿量程/ Atm（從校準壓力開始）

質量流量量程漂移     ± 0.01%讀 數/ ℃（從25℃開始）

                    ± 0.1 %讀 數/ Atm（從校準壓力開始）

響應時間    優于10 ms（與流量相關）

預熱時間    < 1 s

默認標況（STP）    25 ℃ & 1Atm（其它標況可調）

工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選低溫選項）

溫度精度    ± 0.75℃

充電溫度    0 ～ 45 ℃

工作濕度    0 ～ 95 %，無冷凝

最大工作壓力    2MPa表壓，進出口最大允許瞬時壓差500 KPa

壓力精度    ±0.5%讀數（讀數＞1 Atm），或±0.07 PSIA（＜1Atm）

滿量程壓損    參考詳細壓損表

數據刷新頻率    數字信號40 Hz@19200波特率

屏幕刷新頻率    10 Hz

數字輸出信號   RS232

供電電壓    5 VDC （Micro - USB - B）

電氣接口    Micro-USB-B

泄漏率（外漏）    選擇HLCP選項，泄漏率可低至1 x 10-6Atm cc/s He

續航時間    黑白屏 18小時，彩屏 5小時

材    質    302，303，304,316L不銹鋼、FKM氟橡膠、陶瓷、硅橡膠、聚酰胺、環氧樹脂、金、硅、玻璃。

過程連接    詳情參考壓損表

安裝方式    對位置無要求

防護等級    IP40

認    證    ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）