ALICAT 氣體質量流量計 02系列采用了MEMS熱式原理，保證流量測量的穩定性和精確度，測量范圍高達0.1 -100%滿量程，可以滿足更多的客戶流量測量應用場合。

技術指標

介質要求    潔凈、干燥、無腐蝕性氣體

介質種類   可兼容Air，N2，O2，CH4，Ar，CO2，N2O，He，H2

滿量程：    標準0 - 100 SCCM至0-100SLPM，可10%-125%量程標定。      

測量范圍    0.1 ~ 100%滿量程 （1000:1）          

精    度 ：

Air/N2/O2/CH4：±1.5%讀數或者±0.2%滿量程，取大值；

He/H2：±1.8%滿量程；

Ar：±1.5%讀數或者±0.5%滿量程，取大值；

CO2/N2O：100SCCM-2SLPM---±1.5%讀數或者±0.5%滿量程，取大值；

                5-20SLPM---±2.0%讀數或者±1.0%滿量程，取大值；

                50-100SLPM----±3.0%讀數或者±2.0%滿量程，取大值；

重 復 性：    ±0.25 %讀數或者±0.05%滿量程，取大值

溫度敏感性（質量流量零點和滿量程漂移）：± 0.05 % 讀數/ ℃（從校準溫度開始）

溫度精度：±1.5℃

累計流量精度：標準精度額外增加±0.6%讀數

顯示響應時間：    優于6ms，與量程相關

預熱時間    1分鐘（5分鐘優良）

標準狀況（STP）：0℃，20℃，25℃，70℉ & 1Atm，用戶可定制

操作溫度：    0 ～ 50℃（介質和環境）

工作濕度    0- 95 %，無冷凝

操作壓力   0-145PSIG        

耐壓：  175PSIG

數字信號： Modbus ASCII和RTU 基于 RS485或RS232

數字信號刷新頻率：最快176Hz，與波特率和系統相關

模擬信號： 0 - 5 Vdc或4 - 20 mA

模擬信號刷新頻率：  400Hz

模擬信號精度：標準精度額外增加±0.125%滿量程

電氣接口：6針 JST GH

供電需求： 12-24 Vdc，12mA

材    質 ：

主體材質：硬質陽極氧化鋁

閥門材質：黃銅，300系列不銹鋼，NBR（丁晴橡膠），FR4樹脂

密封材質：FKM

傳 感 器：SiO2/SiNx/Si, Ablebond 84-3J，PBT UL 94V-0，錫，紫銅

過程連接    NPT或SAE內螺紋

安裝固定孔：2×M3×0.5螺紋，深度6mm

安裝方向：   平行方向校準

防護等級    IP40

狀態指示燈（LED）：電源，串口通訊，錯誤