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    臺階儀
    產(chǎn)品簡介:

    臺階儀是cassette-to-cassette探針式輪廓儀,可提供幾納米至一毫米的臺階高度測量功能,適用于生產(chǎn)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進行2D和3D測量,其掃描可達(dá)200mm而無需圖像拼接。

    產(chǎn)品型號:P-170

    更新時間:2024-11-20

    廠商性質(zhì):代理商

    訪問量:858

    服務(wù)熱線

    4006981718

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    產(chǎn)品介紹

    P-170是cassette-to-cassette探針式輪廓儀,可提供幾納米至一毫米的臺階高度測量功能,適用于生產(chǎn)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進行2D和3D測量,其掃描可達(dá)200mm而無需圖像拼接。 P-170的圖案識別算法、增強的光學(xué)系統(tǒng)和先進的平臺,這保證了性能的穩(wěn)定和系統(tǒng)間配方的無縫移植- 這是24x7生產(chǎn)環(huán)境的關(guān)鍵要求。

    產(chǎn)品描述

     P-170臺階儀是cassette-to-cassette探針式輪廓儀,將P-17臺式系統(tǒng)的測量性能和經(jīng)過生產(chǎn)驗證的HRP-260的機械傳送臂相結(jié)合。 這樣的組合為機械傳送臂系統(tǒng)適用于半導(dǎo)體,化合物半導(dǎo)體和相關(guān)行業(yè)。 P-170可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進行2D和3D測量,其掃描可達(dá)200mm而無需圖像拼接。


       該系統(tǒng)結(jié)合了UltraLite傳感器、恒力控制和超平掃描平臺,因而具備出色的測量穩(wěn)定性。通過點擊式平臺控制、頂視和側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)以及帶光學(xué)變焦的分辨率相機等功能,程序設(shè)置簡便快速。P-170具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調(diào)平和分析算法,可以支持2D或3D測量。并通過圖案識別、排序和特征檢測實現(xiàn)全自動測量。

    臺階儀主要功能

    •      臺階高度:幾納米至1000μm

    •      微力恒力控制:0.03至50mg

    •      樣品全直徑掃描,無需圖像拼接

    •      視頻:500萬像素分辨率彩色攝像機

    •      圓弧校正:消除由于探針的弧形運動引起的誤差

    •      軟件:簡單易用的軟件界面

    •      生產(chǎn)能力:通過測序、圖案識別和SECS/GEM實現(xiàn)全自動化

    •      晶圓機械傳送臂:自動加載75mm至200mm不透明(例如硅)和透明(例如藍(lán)寶石)樣品

    主要應(yīng)用

    •      臺階高度:2D和3D臺階高度

    •      紋理:2D和3D粗糙度和波紋度

    •      形狀:2D和3D翹曲和形狀

    •      應(yīng)力:2D和3D薄膜應(yīng)力

    •      缺陷復(fù)檢:2D和3D缺陷表面形貌

    工業(yè)應(yīng)用

    •      半導(dǎo)體

    •      化合物半導(dǎo)體

    •      LED:發(fā)光二極管

    •      MEMS:微機電系統(tǒng)

    •      數(shù)據(jù)存儲

    •      汽車

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