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    當前位置:首頁產品中心暖通環保風速儀P-170臺階儀

    臺階儀
    產品簡介:

    臺階儀是cassette-to-cassette探針式輪廓儀,可提供幾納米至一毫米的臺階高度測量功能,適用于生產環境。該系統可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量,其掃描可達200mm而無需圖像拼接。

    產品型號:P-170

    更新時間:2024-11-20

    廠商性質:代理商

    訪問量:650

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    產品介紹

    P-170是cassette-to-cassette探針式輪廓儀,可提供幾納米至一毫米的臺階高度測量功能,適用于生產環境。該系統可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量,其掃描可達200mm而無需圖像拼接。 P-170的圖案識別算法、增強的光學系統和先進的平臺,這保證了性能的穩定和系統間配方的無縫移植- 這是24x7生產環境的關鍵要求。

    產品描述

     P-170臺階儀是cassette-to-cassette探針式輪廓儀,將P-17臺式系統的測量性能和經過生產驗證的HRP-260的機械傳送臂相結合。 這樣的組合為機械傳送臂系統適用于半導體,化合物半導體和相關行業。 P-170可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量,其掃描可達200mm而無需圖像拼接。


       該系統結合了UltraLite傳感器、恒力控制和超平掃描平臺,因而具備出色的測量穩定性。通過點擊式平臺控制、頂視和側視光學系統以及帶光學變焦的分辨率相機等功能,程序設置簡便快速。P-170具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調平和分析算法,可以支持2D或3D測量。并通過圖案識別、排序和特征檢測實現全自動測量。

    臺階儀主要功能

    •      臺階高度:幾納米至1000μm

    •      微力恒力控制:0.03至50mg

    •      樣品全直徑掃描,無需圖像拼接

    •      視頻:500萬像素分辨率彩色攝像機

    •      圓弧校正:消除由于探針的弧形運動引起的誤差

    •      軟件:簡單易用的軟件界面

    •      生產能力:通過測序、圖案識別和SECS/GEM實現全自動化

    •      晶圓機械傳送臂:自動加載75mm至200mm不透明(例如硅)和透明(例如藍寶石)樣品

    主要應用

    •      臺階高度:2D和3D臺階高度

    •      紋理:2D和3D粗糙度和波紋度

    •      形狀:2D和3D翹曲和形狀

    •      應力:2D和3D薄膜應力

    •      缺陷復檢:2D和3D缺陷表面形貌

    工業應用

    •      半導體

    •      化合物半導體

    •      LED:發光二極管

    •      MEMS:微機電系統

    •      數據存儲

    •      汽車

    •      還有更多:請與我們聯系以滿足您的要求

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