F50薄膜厚度測量儀：依靠F50的光譜測量系統，可以簡單且快速地獲得直徑450毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用r-θ極坐標移動平臺，可以快速的定位所需測試的點并測試厚度，測試非常快速，大約每秒能測試兩點。

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